Vakuum-Messgerät zur Beschichtung und Aufdampfung (CVD, PVD)
Vakuum-Messtechnik zur chemischen und physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD / CVD)
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VAKUUM-MESSGERÄTE FÜR PVD / CVD ANWENDUNGEN
Vakuummessgerät VSP mit Pirani Sensor für CVD / PVD
- Zuverlässiger Pirani Vakuumsensor
- Sehr gute Reproduzierbarkeit
- Vakuumsensor mit grossem Messbereich (1 x 10-4 mbar) bei hoher Auflösung
- Einrichtung des Vakuummeters per Knopfdruck möglich
- Mit PtRh Filament für korrosive Gase geeignet
- Einfache Integration in bestehnde Vakuumanlagen möglich.
Vakuummessgerät VSM mit Pirani Sensor für PVD und CVD
- Haltbarer Pirani Vakuumsensor
- Die Haltbarkeit des Kombi-Messgerätes wird verlängert durch Zuschalten des Kaltkathoden-Vakuumsensors bei niedrigem Druck.
- Der Sensorkopf des Vakuum-Messgerätes ist problemlos austauschbar
- Durch verschiedene Gasartkorrekturfaktoren, für die beiden Vakuumsensoren separat einstellbar, werden korrekte Messwerte zugesichert.
- Vakuummessgerät mit zwei von einander unabhängigen “Schaltpunkten” (Relais)
Vakuummessgerät mit kombiniertem Pirani-Vakuumsensor und Bayard-Alpert Vakuumsensor für Beschichtung
- Sehr gute Genauigkeit und Reproduzierbarkeit des Vakuumsensors
- Durch Benutzung des Bayard-Alpert Vakuumsensors bei niedrigen Drücken wird die Haltbarkeit des Vakuummeters erhöht
- Die Sensorköpfe des Vakuummessgerätes sind einfach austauschbar und das Messgerät ist ausheizbar bis 180° C (ohne Elektronik)
- Korrekte Messwerte sind auch bei verschiedenen Gasarten durch spezifische Gasartkorrekturfaktoren möglich
- Der Heisskathoden-vakuumsensor hat ein Reservefilament, was im Falle des Versagens des ersten Filamentes automatisch übernimmt.
- Unempfindlich gegenüber Lüfteinbrüchen
- Zwei von einander unabhängige Relaisschaltpunkte
u.A. geeignet für folgende Anwendungen:
- Vakuummessgerät für Dünnfilmbeschichtung
- Vakuummeter für Flachbildbeschichtung
- Photovoltaik und Glasbeschichtung
- Vakuumsensor für ätzende Gase
- Vakuummessgerät für CVD (chemical vapor deposition)
- Vakuummeter für PVD (physical vapor deposition)
- Vakuummessgerät für optische Beschichtungen
- Vakuummessgeräte für die Halbleiter-Industrie
VCC200 – Kapazitiver Vakuumtransmitter zur Gasphasenabscheidung
- Robuster, kapazitiver Vakuumsensor
- Korrosionsfreier Aluminium-Oxyd Keramik Vakuumsensor
- Messungen sind unabhängig von der Gasart
- Der Messbereich beträgt 200- 0.1 mbar
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u.A. geeignet für folgende Anwendungen
- Vakuumsensor für Gasphasenabscheidung (CVD)
- Vakuummessgerät für die Halbleiterherstellung
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